Қытай институты DUV-литографияда 3 нм-ден жұқа чиптерге арналған GAA транзисторларын жасады
Материал бірнеше дереккөз негізінде жасанды интеллектпен дайындалды — түпнұсқаларға сілтемелер төменде.
Қытай ғылым академиясының Микроэлектроника институты DUV-литографияны қолдана отырып, стектелген наножапырақты арналары бар GAA КМОП транзисторларының алдын ала интеграциясын аяқтады. Бұл жұмыс ASML-дің EUV жабдығынсыз 3 нм-ден жұқа чиптер өндіруге қадам болды, оның жеткізілімі АҚШ-тың экспорттық шектеулерімен бұғатталған.
Негізгі фактілер
- Қытай ғылым академиясының Микроэлектроника институты DUV-литографияны қолдана отырып, стектелген наножапырақты арналары бар GAA КМОП транзисторларының алдын ала интеграциясын аяқтады.
- Жетістік Қытайда 3 нм-ден төмен нормалар бойынша чиптерді озық өндіруге арналған МОП транзисторларын әзірлеудің ерте кезеңіндегі жаңа технологиялық бағыт ретінде сипатталды.
- ASML-ге қолданыстағы экспорттық бақылау ережелеріне сәйкес қытайлық тұтынушыларға ең жаңа EUV қондырғыларын жеткізуге тыйым салынған.
DUV-литографиядағы серпіліс
Қытай ғылым академиясының Микроэлектроника институтының сарапшысы Е Тяньчунь DUV-литография жабдығын қолдана отырып, стектелген наножапырақты арналары бар GAA КМОП транзисторларының алдын ала интеграциясы туралы хабарлады. Тайваньдық БАҚ-тың Е Тяньчуньге сілтеме жасауынша, институт терең ультракүлгін литографияның азырақ озық технологиясын қолдана отырып, GAA архитектурасы бар жартылай өткізгіш құрылғыларды әзірлеудің алдын ала жолын анықтады. Нәтиже Қытайда 3 нм-ден төмен нормалар бойынша чиптерді озық өндіруге арналған МОП транзисторларын әзірлеудің ерте кезеңіндегі жаңа технологиялық бағыт ретінде сипатталды.
Экспорттық бақылау контексі
Нидерландтық ASML компаниясына қолданыстағы экспорттық бақылау ережелеріне сәйкес қытайлық тұтынушыларға ең жаңа EUV қондырғыларын жеткізуге тыйым салынған. EUV жабдығы 7 нанометрден жұқа техпроцесс бойынша чиптер өндіру үшін қажет. Серпіліс Вашингтон тарапынан экспорттық шектеулер жағдайында чиптер өндірудің озық технологияларын дамытудың балама әдісін құру жөніндегі Пекиннің мақсатына қадам болды.
1 дереккөз
Уақыт · артта қалуы